產(chǎn)品詳情
濟(jì)南千斗工業(yè)科技有限公司
W-357-1MQG-SKC 石英振動體式清洗機(jī)日本本多
特征
晶圓清洗更精細(xì)，損傷小
■ 超聲波疊加在石英振動體上，對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗
。零件振動，其加速度會清除表面的污垢。
■ 實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體晶片的損傷少的清潔清洗 與
化學(xué)品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設(shè)備相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進(jìn)行清潔清洗。
■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮?dú)獾龋├鋮s振蕩器，可以穩(wěn)定地連續(xù)運(yùn)行而不會發(fā)生頻率波動。
此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
利用
去除抗蝕劑殘留物
磨邊和灰化后去除聚合物
柵電極清洗
CMP 后清洗
規(guī)格
■ 振蕩器
| 模型 | W-357-1MQG-SKC |
| 振蕩模式 | 單頻振蕩 |
| 額定輸出 | 12W |
| 標(biāo)稱振蕩頻率 | 1MHz |
| 電源輸入 |
AC100V-240V 單相 50 / 60Hz 300VA |
|
外形尺寸 WxDxHmm |
180 x 250 x 100 （不包括突出部分，包括橡膠腳） |
| 質(zhì)量 | 2.2公斤 |
● 可變輸出范圍：0W 至 12W（振動體的允許輸入：使用空氣吹掃進(jìn)行振蕩器冷卻時(shí)連續(xù) 10W）
● 周圍環(huán)境：溫度：15 至 35°C，濕度：10 至 85%
● 外部驅(qū)動器觸點(diǎn)額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)） 接點(diǎn)輸入：DC12V 16mA 以上
警報(bào)輸出（儀器） 接點(diǎn)容量：DC24V 0.5A
■ 附屬電纜：電源線（100V 2m / 200V 3m）、控制線（5m）x4
■ 振動體
| 流量 | 未 |
| 全長 | 159毫米 |
| 卡盤零件尺寸 | φ24毫米 |
| 照射面積 | 24cm2 |
| 大量的 | 600克 |
● 工作液體溫度范圍：20 至 50 ℃
● 振蕩器：PZT
● 材料：振動體：石英玻璃，包裝：硅橡膠，外殼：PCTFE
● 線長：輸出線1.5m + 繼電器線3.5m
● 空氣凈化接頭：兼容管子（外徑φ6）
