泰安高效過濾器

泰安高效過濾器

泰安高效空氣過濾器半導體制造潔凈廠房設計案例跟你一起分享在凈化工程各種關于凈化設備及空氣過濾器生產(chǎn)廠家的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品的制造工藝及空氣過濾器品質(zhì)的得要性。

第一部分半導體系體例造的潔凈廠房在體式格局上跟其他的平板潔凈廠房的體式格局上沒有什么請求。依據(jù)輪回空氣的特征把潔凈廠房分為三種，第一種大家叫做輪回空調(diào)將合營高校順風口的體式格局，這種潔凈室的體式格局是比較早的體式格局，在八十年代以至最早的6十年代都是用這種體式格局。它的形勢比較多種送風的體式格局有上送、側(cè)送。泰安高效空氣過濾器半導體制造潔凈廠房設計案例，它的缺點是不合適高等級和大面的潔凈室，運轉(zhuǎn)成本高，占用空間大。

  第二種體式格局是輪回風機合營濕式密封系統(tǒng)，它的特征是高靜壓、液槽密封;合適各類等級的潔凈室。它的缺點是運轉(zhuǎn)費用比較高，首如果電費方面，再來就是噪音比較高，輪回風機通俗都是大風機可能經(jīng)由風管或者建筑結(jié)構引進來。另外施工難度大，漏風量大，系統(tǒng)升級(潔凈度)擴展艱難。

  第三種體式格局就是首要講的FFU輪回風系統(tǒng)，這套系統(tǒng)在半導體系體例造行業(yè)應用最普遍的一種體式格局。這種體式格局的特征由FFU供應輪回空氣的動力，整個輪回空氣經(jīng)由一臺一臺小風機中止輪回風系統(tǒng)，在FFU操作引擎的時分，在施工的時分都不會構成影響，用起來十分便當，而且儉省空間，另外十分首要一點是潔凈度安全性高。大家依據(jù)市場的狀況設備分歧的往里進，裝置施工包括施工人員還有機械在施工的過程中不時存在，假如安全度不高遭到干擾的話，抵消費會構成影響，所謂的缺點就是維護成本高。

  大家講一下情況節(jié)制，起首是潔凈度。下面這張圖是整個潔凈度節(jié)制的概念圖，起首是新風部分，通俗設置裝備鋪排是初效、中效和高效。潔凈室的等級平日抉擇高?？諝膺^濾器的袒護率，一級潔凈室請求高效100%袒護率，換氣次數(shù)400次。100級是25%袒護率，換氣次數(shù)100，1000級是12.5%袒護率、換氣次數(shù)在50次。www.rfilter.com

  這個表格是大家半導體系體例造一些工藝消費過程的潔凈等級請求，請求通俗的是光照生產(chǎn)，還有微情況，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級。潔凈度的請求是不是越高越好，這個首要照樣抉擇大家的設計，或者抵消費的請求，潔凈度越高意味著FFU袒護率會成倍的添加。今朝對一些潔凈室的設計照樣大情況，不需求很高的潔凈度。還有濕度節(jié)制，濕度節(jié)制首要經(jīng)由輪回通氣冷卻系統(tǒng)，去除潔凈室輪回空氣的顯熱，最終節(jié)制潔凈室溫度。濕度節(jié)制首要經(jīng)由新風節(jié)制箱中止節(jié)制，溫度的節(jié)制目標有兩個，起首是人員的溫馨性，溫度在21-23度都沒有問題，作為制程來說大家存眷的是搖動性。節(jié)制潔凈房的濕度首要目標是濕渡過低將輕易發(fā)生靜電、濕渡過高，對產(chǎn)品的影響。第二點是正壓，經(jīng)由潔凈室內(nèi)的壓力傳感器節(jié)制MAU風機的頻率改動送風量對峙潔凈室的設定正壓，靜壓層對峙微正壓。

  再來就是照度和噪聲，這個部分在新的規(guī)范里面有仔細的描畫，這里不仔細講了。因為如今半導體系體例造設備尺寸越來越大，裝置起來一部分照明會被隱瞞，噪聲的問題比較難措置，首要在設備選型的時分留意。接下來是靜電節(jié)制的問題(ESD)，這個自身會構成產(chǎn)品的毀傷或者設備的毀傷，半導體有ESD的規(guī)范，是在S20.20。www.rfilter.com

半導體廠對靜電消弭首如果經(jīng)由兩種體式格局一個是被動式的靜電消弭，泰安高效空氣過濾器半導體制造潔凈廠房設計案例，這個設備解題，包括墻板、高架地板、辦公設備等。另外一個潔凈室的階梯網(wǎng)，主動式的靜電消弭就是用靜電消弭器，針對分歧的潔凈等級對靜電消弭器有很多體式格局。第一張圖是百級潔凈室圖片的樣子，旁邊是千級潔凈室內(nèi)的圖片。下面還有輻射式的基本也是屬于主動式消弭的一種。

  新風系統(tǒng)大家零丁做一部分解說，首如果關于半導體來講對情況是最首要的一部分，也是最輕易發(fā)生問題的部分。新風系統(tǒng)有三鴻文用，保證潔凈室內(nèi)一定是正壓。第二是節(jié)制潔凈室的濕度。第三個是凈化室外空氣、保證供氣質(zhì)量。新風系統(tǒng)特征第一能耗比較高，每個局限都邑有一個大的制冷扇，還有大風量，再一個結(jié)構復雜。新風系統(tǒng)在設計上有一些請求，首如果節(jié)能方面，整個空調(diào)系統(tǒng)占半導體廠能耗的30%-45%，個中近70%被新風系統(tǒng)耗費掉。所以下面有一些節(jié)能的措施，包括設置上能夠采用熱回收的設計，因為時候的關系這里不再仔細引見。www.rfilter.com

   最后一個是AMC節(jié)制，平日有兩個規(guī)范一個是ISO14644規(guī)范，高效空氣過濾器半導體制造潔凈廠房設計案例，還有一個是Semi規(guī)范，AMC分為四種，第一種是酸性，第二種是堿性，第三種是可凝性、第四中是摻雜性。堿性的物質(zhì)首要在光照這部分會發(fā)生一些影響，摻雜性的問題并不是很凸起孫，其他的狀況基本問題不大。關于半導體系體例造的影響很多了，每個制程都有一些影響，舉一些例子就是酸、堿、Solvent比較敏感，ECP對VOC和酸比較敏感,對酸敏感。AMC的節(jié)制大致上有如許一個計劃，分歧的工廠可能采用的體式格局紛歧樣，關于新奇空氣AMC節(jié)制大家經(jīng)由兩道，第一個是噴氣式。第二個是化學空氣過濾器，經(jīng)由這兩道過濾送進潔凈室的新風會獲得比較好的節(jié)制。在潔凈室內(nèi)有一部分污染是來自潔凈室內(nèi)，這部分照樣經(jīng)由化學空氣過濾器，假如還達不到請求，那就要在設備端小情況再裝置一道化學空氣過濾器，來抵達請求。所以節(jié)制請求越來越嚴，這也是近幾年的工作，單單是設備中止過濾曾經(jīng)不能知足請求，所以才出來綜合的節(jié)制體式格局。仔細的一個工廠節(jié)制到什么規(guī)范要去考量，因為這個成本十分高，我的內(nèi)容就講到這里，感謝。