氣體傳感器闡述
氣體傳感器是氣體檢測(cè)系統(tǒng)的核心,通常設(shè)置在探針內(nèi)。 本質(zhì)上,氣體傳感器是將某種氣體的體積分率轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的轉(zhuǎn)換器。 探頭用氣體傳感器調(diào)整氣體樣品,通常去除雜質(zhì)和干擾氣體,干燥和制冷處理,抽樣,進(jìn)而化學(xué)處理樣品,使化學(xué)傳感器能夠更快地測(cè)量。
氣體傳感器種類
可知SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料具有氣敏效果. 由這些金屬氧化物制成的氣敏膜是阻抗元件,在氣體分子和敏感膜之間交換離子,發(fā)生還原反應(yīng),引起敏感膜電阻的變化。 作為傳感器,這種反應(yīng)必須是可逆的,即為了去除氣體分子,必須發(fā)生一次氧化反應(yīng)。 傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧化反應(yīng)進(jìn)程。
氣體傳感器樣式
4、可靠性具體運(yùn)用中,存有UT隨時(shí)間飄移的特點(diǎn),因此,選用在HCl氛圍中生長(zhǎng)發(fā)育一層SiO2電纜護(hù)套,能夠 明顯改進(jìn)UT的飄移。除氡氣外,別的汽體不可以根據(jù)鈀柵,制做別的汽體的Pd—MOSFET氣敏傳感器要選用一定對(duì)策,如制做CO敏MOSFET時(shí)要在鈀柵上制做約20nm的小圓孔,就能夠 容許CO汽體根據(jù)。此外,由于Pd—MOSFET對(duì)氫氣有較高的靈敏度,而對(duì)CO的靈敏度卻較低,為此可在鈀柵上蒸發(fā)一層厚約20nm的鋁作保護(hù)層,阻止氫氣通過。鈀對(duì)氨氣分解反應(yīng)的催化作用較弱,為此,要先在SiO2絕緣層上沉淀一層活性金屬,如Pt、Ir、La等。再制作鈀柵,可制成氨氣敏MOSFET。
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