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@技術(shù)參數(shù):流量:0 -20m3 /h;揚程: 30m ;功率:0.37-4kw;轉(zhuǎn)速:1450r/min;口徑:10 -100mm ;溫度:-15-+ 150℃ ;
中科院上海微與信息技術(shù)研究所(以下簡稱上海微所)高g值加速度計研究組通過改進工藝,使用單拋片通過單面微機械加工制造出性能更優(yōu)的懸臂梁式高g值加速度計,同時具備制造工藝簡單、制造成本低廉、芯片尺寸較小、結(jié)構(gòu)強度高等優(yōu)點。
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