產(chǎn)品詳情
PFA花籃(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花藍(lán) ,鐵氟龍卡匣 , 鐵氟龍晶舟盒 ,鐵氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器,耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿),主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃,進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中,可搭配PFA把手使用。
特點(diǎn)
1.耐腐蝕:耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿
2.搭配可活動把手,用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸
3.耐高低溫:-200~260℃
4.耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關(guān);
5.防污染:本底值低,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,確保晶圓芯片無污染
7.化學(xué)性能穩(wěn)定