產(chǎn)品詳情
代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機、涂膠機與顯影機、光刻機、貼片機、俺膜機
詳詢請致電：吳工 132，4667.5433
AD12英寸噴淋顯影系統(tǒng)
AD12系統(tǒng)可以滿足所有最新的噴淋顯影技術(shù)的需求，最大可用于直徑12英寸的圓片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。
也可以選裝晶圓清洗模塊。
亮點：
憑借多樣的噴液技術(shù)，在工藝通用性方面表現(xiàn)出色
專為水基工藝而設(shè)計
高安全性標(biāo)準(zhǔn)
介紹：
一、卓越的靈活性
AD12通過使用優(yōu)化的卡盤能夠處理許多不同種類的基材，從而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材（如InP、GaAs）也能被安全地處理。特殊的工具和廣泛的易于調(diào)整的工藝參數(shù)使AD12適用于許多涉及水介質(zhì)的工藝應(yīng)用。由于能夠?qū)?shù)進行編程，如步進時間、旋轉(zhuǎn)速度、加速和減速、點膠臂位置和旋轉(zhuǎn)運動，該系統(tǒng)可以優(yōu)化工藝流程，從而獲得可重復(fù)的、穩(wěn)定的工藝結(jié)果。AD12配備了SUSS MicroTec公司先進的點膠技術(shù)，有效地支持開發(fā)和清洗。
二、復(fù)雜的噴點技術(shù)
AD12為不同的工藝需求提供了廣泛的噴點技術(shù)?？梢赃\行多種工藝：從簡單的水坑或噴霧顯影，到需要浸泡和最后沖洗的水坑點膠，再到需要高壓將抗蝕劑和金屬升起的升華。上述所有的噴點技術(shù)都可以在AD12的噴點臂上配置。
三、智能溶劑型介質(zhì)系統(tǒng)
AD12是為處理水基介質(zhì)的特殊需求而定制的。所有與工藝化學(xué)品接觸的部件都由不易受影響的材料制成。排水口可以連接到室內(nèi)排水口或廢物罐。
介質(zhì)被安全地儲存在配備有排氣接口的介質(zhì)庫中，并由滲漏檢測器加以保護。流量控制系統(tǒng)和壓力調(diào)節(jié)器管理介質(zhì)。可以選擇控制介質(zhì)溫度，以確保工藝效果?？梢园惭b介質(zhì)的再循環(huán)系統(tǒng)，以減少整個介質(zhì)的消耗。
四、操作簡單、安全
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機和噴霧涂膠機：
自動涂膠機與顯影機：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機：RCD8、ECD8
手動涂膠機與顯影機：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機
JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
三、光刻機、掩模對準(zhǔn)機
全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動：MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動貼片機
全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動：HMx Serie
七、投影掃描光刻機
全自動：DSC300 Gen3
韓國AUTOFLOW：
一、氣體流量計
AMF-4003、AMF-4008
AMF-5003、AMF-5006、AMF-5008、AMF-5012、AMF-5019
AMF-6012、AMF-6019
二、質(zhì)量流量計 AVA-420
三、超聲波流量計
AUDS系列：
AUDS-100P-1/AUDS-100P-2
AUDS-100H/AUDS-100M/AUDS-100Y
四、熱式質(zhì)量流量傳感器：VA 420
五、渦街流量計： AVT2000 AVT4000 AVT5000
六、渦輪流量計:Vision 1000 Vision 2000
韓國SAMWOO
一、壓力測量
壓力變送器：APT-3100、APT-3200、7MF 4333、7MF 4633、7MF 4533、7MF 4433、7MF 4233、7MF 4033
2600T系列壓力變送器
264DS型差速器
264PS型壓力表
264VS絕對型
型號：264DS、264GS、264HS、264AS
壓力開關(guān)：P990、P970、P961,P962,P963,P964,P965、P953、P940、P930、P920、P912,P913,P914、P910,P911
超高純度壓力表：PT840、P840-1、P840、P830、P820、P810
衛(wèi)生級壓力表：P757、P750
高溫壓力表：P740
隔膜密封型壓力表： P730、P720、P710
指示差壓表：P651,P652,P653,P654,P655、P641,P642,P643,P644,P645
電接點差壓表：P621,622,623,624,625、P620,630
SF6氣體密度監(jiān)測儀：P590
鍍鉻鋅殼電接點壓力表：P542,P543
壓力指示開關(guān)：P535、P536
鋼殼電接點壓力表：P531,532,533,534,537,539
電動壓力表：P520、P510、P500
低壓表：P440、P430、P428、P429、P421、P410、P420、P359、P339
工業(yè)壓力表：P330
充液壓力表：P259、P258、P257、P253、P252、P229, P335、P222、P221、P253
接收儀：P228
重型使用壓力表：P163
通用壓力表：P140、P110
測試壓力表：P119
氟利昂氣體服務(wù)壓力表:P112
氨用壓力表:P111
【二】溫度測量
帶焊接連接的棒材熱套管：A630、A631、A632
帶法蘭連接的棒材熱電偶套管：A610、A611、A612
帶螺紋連接的棒材熱套管：A600、A601、A602
管式熱電偶套管：A500、A510
電阻式溫度檢測器：R221、R222
鎧裝熱電偶：R121,R122
滑石保護管熱電偶：R111/R112
溫度發(fā)射機：ATT-2200、ATT-2100
顯示器：7NG3132、7NG3120頭戴式、TTR200、
溫度變送器：TTH200、TTH300、TTF300、
溫度計：T751,T752,T753,T754
溫度開關(guān)：T990、T953
防雨溫度開關(guān)：T941,942
指示溫度開關(guān)：T931,932
電接點遠讀溫度計：T761,762,763,764
帶鋁殼和電觸點的直讀溫度計：T721,722,723,724
鋁殼電接點遠讀溫度計：T711,712,713,714
電接點溫度計：T521,522,523,524,525
感應(yīng)式接觸式溫度計：T501,502,503,504,505
玻璃溫度計：T400
安全型直讀溫度計：T359、T259、T250
帶可調(diào)桿的直讀溫度計：T290
重型服務(wù)遠程讀取溫度計：T263
無油遠程讀數(shù)溫度計：T239、T230、T219
無油直讀溫度計：T229、T220
鋁殼直讀溫度計：T222
鋁殼遠讀溫度計：T212、T210
密封外殼溫度計：T191
溫度計：T190、T120、T114、T112、T111、T110
溫度記錄儀：T930、T920
溫度變送器：MTM
【三】液位測量
液位開關(guān)；MWBS-TR-01、MWBS-RC-01、
液位開關(guān)電極類型：HE系列
液位開關(guān)：HQ-6636系列
液位開關(guān)槳葉式：HLV-300系列
振動型液位開關(guān)：HNV-970、HTM-230, HTM-430
液位開關(guān)HR/F型：HCC-96RF-R
LEVEL SWITCH電容式：HPC-509N、HCC-75P系列
液位開關(guān)磁浮式：HM-12S
液位開關(guān)磁浮式：HR-30S
液位開關(guān)浮子式：HM-90SE、HM-95系列
液位開關(guān)置換器類型：HM-90
二色式量規(guī)：L500、L510
管狀壓力表：L400
磁性浮子式液位計：L300
透明式液位計：L200
照明器：L150、L250
加熱/之字形液位計：L130、L230
無霜型液位計：L120、L220
大室式液位計：L110、L210
反射式液位計：L100
韓國ULFA
ADT系列差壓儀表
AIT 差壓儀表
PATM差壓儀表
PMI 差壓變送器和開關(guān)
USP 差壓變送器
PAT 差壓變送器
TML數(shù)字溫度計
韓國DAEKWANG
溫度傳感器：
TS0001、TS0002、TS0003、TS0004、TS0005、TS0006、TS0007、TS0008、TS0009、TS00010、TS00011、TS00012、TS00013、TS00014、TS00015、TS00016、TS00017、TS00018、TS00019、TS00020、TS00021、TS00022、TS00023、TS00024、TS00025、TS00026、TS00027、TS00028、TS00029、TS00030、TS00031、TS00032、RS0001、RS0002、RS0003、RS0004
