產(chǎn)品詳情
角磨片磨光片分檔監(jiān)測標準
角磨片磨光片分檔監(jiān)測:對硅片進行損傷檢測,存在損傷的硅片重新進行腐蝕。
粗磨光片:使用一次研磨劑去除損傷層,一般去除量在10~20um。此處產(chǎn)生粗拋廢液。
精磨光片:使用精磨劑改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,從而的到高平坦度硅片。產(chǎn)生精拋廢液。
磨光片腐蝕A/B:經(jīng)切片及研磨等機械加工后,晶片表面受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。
腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產(chǎn)生廢堿液。本項目一部分硅片采用腐蝕A,一部分采用腐蝕B。http://www.jzyhslc.com/products/2.html