· 測量單位:公制、英制
· 測量原理:觸針法
· 傳感器:帶尋頭的電感式傳感器,測尖2 µm (80 µin),測力約為0.7 mN
· 測量參數(shù):Ra, Rq ,Rz等值于Ry(JIS),Rmax, Rp,Rp(ASME), Rpm(ASME),Rpk,Rk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo.Rt,R3z,RPc,Rmr等值于tp(JIS,ASME),RSm,R,Ar,Rx
· 程序語言:14種語言可選擇包括3種亞洲語言
· 測量范圍:350 µm/180 µm/90 µm(自動(dòng)選擇)
· 輪廓度分辨率:32nm,16nm,8nm(自動(dòng)選擇)
· 截止波長lc*::0.25 mm, 0.8 mm, 2.5 mm; automatic (0.010 in, 0.030 in, 0.100 in)
· 測量長度Lt*:1.75 mm, 5.6 mm, 17.5 mm; automatic (0.069 in, 0.22 in, 0.69 in)
· 測量長度(按照MOTIF標(biāo)準(zhǔn)):1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm (0.040 in,
0.080 in, 0.160 in, 0.320 in, 0.480 in, 0.640 in)
· 平定長度ln*:1.25 mm,4.0mm,12.50mm(0.050in,0.15 in,0.50in)
· 其他功能:模塊化設(shè)置(源代碼保護(hù)),日期/時(shí)間
*符合ISO/JIS標(biāo)準(zhǔn)
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