產(chǎn)品詳情
一、設(shè)備名片 |
激光劃片機(jī)廣泛應(yīng)用于硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片與切割,特別適用于單晶硅、多晶硅、非晶硅太陽(yáng)能電池的劃片
二、設(shè)備圖片 |
三:設(shè)備組成部件簡(jiǎn)介: |
一:激光器系統(tǒng)
激光系統(tǒng)主要由激光工作物質(zhì)、泵浦模塊、Q器件組成。
二:維運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)
運(yùn)動(dòng)工作平臺(tái)是由兩個(gè)相互垂直的絲桿傳動(dòng)工作臺(tái)疊加起來(lái)構(gòu)成的二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái),并且由高精度步進(jìn)或伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)接收計(jì)算機(jī)控制信號(hào),配合工作臺(tái)上的吸附孔對(duì)工件進(jìn)行精確定位,在平面內(nèi)對(duì)工件進(jìn)行高精度加工
三:冷卻系統(tǒng)
溫度對(duì)激光器輸出激光有很大的影響,對(duì)于保持激光穩(wěn)定輸出至關(guān)重要。因此冷卻系統(tǒng)采用了我公司的恒溫的智能激光冷水機(jī)(激光冷水機(jī)詳見(jiàn)附錄二)。注意冷卻液必須使用去離子水或者純凈水(自來(lái)水雜質(zhì)太多容易污染光腔),另外在低于8攝氏度的環(huán)境下工作時(shí)必須添加防凍劑,而且要經(jīng)常更換,避免污染聚光腔。
四.計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)
(1)計(jì)算機(jī)配置專業(yè)工業(yè)控制電腦,穩(wěn)定性好,中文WindowsXP操作系統(tǒng)。
(2)控制系統(tǒng)及板卡
(3)PCI總線的控制卡接口
(4)光電隔離15位數(shù)字信號(hào)輸入及15位路數(shù)字信號(hào)輸出,
(5)專用激光劃片軟件激光劃片軟件是WINDOWS界面,全中文操作系統(tǒng),專業(yè)激光劃片軟件。功能強(qiáng)大:激光劃片軟件可在WINDOWS 2000 或XP下運(yùn)行,采用標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)控制卡對(duì)激光器和二維運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)傳輸。
四、功能說(shuō)明: |
激光電源啟動(dòng)模塊,光腔輸出連續(xù)激光;調(diào)Q器件對(duì)連續(xù)激光進(jìn)行腔內(nèi)調(diào)制,產(chǎn)生脈沖激光(頻率可調(diào)),以提高輸出激光的峰值功率;輸出的激光通過(guò)擴(kuò)束鏡擴(kuò)束,再經(jīng)過(guò)聚焦鏡聚焦到加工工件表面,形成高功率密度光斑(約1000000w/mm²)使工件表面瞬間氣化。同時(shí)計(jì)算機(jī)控制二維工作臺(tái)作出一定路徑的運(yùn)動(dòng),激光會(huì)在工件表面刻劃出有一定深度的線槽。
五、主要技術(shù)參數(shù) |
激光波長(zhǎng) | 1064nm |
激光最大輸出功率 | ≤50W |
激光重復(fù)頻率 | 1KHz~50KHz |
工作臺(tái)移動(dòng)速度 | ≥80mm/s |
劃片線寬 | ≤0.05mm |
切割厚度 | ≤1.2mm |
工作臺(tái)行程 | 320×320mm |
工作臺(tái)面積 | 350×350mm2 |
電源 | 三相交流/ 380V/ 50Hz /3KW(單相交流220V/50Hz /3KW) |
冷卻方式 | 一體化恒溫循環(huán)水冷 |
激光冷水機(jī)功率 | 1.0KW |
額定流量 | 33.3L/min |
六、相關(guān)配套設(shè)備推薦 |
太陽(yáng)能組件測(cè)試儀
半自動(dòng)EL缺陷測(cè)試儀
全自動(dòng)EL缺陷測(cè)試儀
太陽(yáng)能電池分選機(jī)
激光劃片機(jī)
七、聯(lián)系地址 |
公司名稱:武漢三工光電設(shè)備制造有限公司
公司地址:湖北武漢東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)武漢大學(xué)科技園武大園四路
公司網(wǎng)址:http://www.sunic.com.cn
聯(lián)系人:陶女士
電話:027-59722666-8013
手機(jī):15671696583
MSN: hstf160@hotmail.com
Q:1563376021
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