產(chǎn)品詳情
顯影劑 顯影劑包括NPD Negative Resist Developers(負(fù)性光刻膠顯影劑)和Positive Resist Removers(正性光刻膠去除劑) 曝光機(jī) harmonic微機(jī)聯(lián)動(dòng)諧波SHG-58-100-2UH 微電腦電子曝光機(jī)由光源系統(tǒng),冷卻系統(tǒng),上/下框移動(dòng)及真空系統(tǒng),曝光控制系統(tǒng)四大系統(tǒng)構(gòu)成.光源系統(tǒng)由兩只7KW金屬鹵素?zé)?遮光罩等組成.冷卻系統(tǒng)由 中間送冷氣冷卻燈管的兩層玻璃套管(PYREX管及石英玻璃管),冷harmonic微機(jī)聯(lián)動(dòng)諧波SHG-58-100-2UH 卻塔,換熱器,冷氣機(jī)組成.上下框架移動(dòng)及真空系統(tǒng)由上/下框架,上/下框架驅(qū)動(dòng)部 分,玻璃面,MYLAR(PE布),兩處真空吸氣口組成.曝光控制系統(tǒng)由紫外線強(qiáng)度計(jì)(將曝光光量正確地顯示出來),溫度傳感器,液面?zhèn)鞲衅?壓力傳感 器,位置傳harmonic微機(jī)聯(lián)動(dòng)諧波SHG-58-100-2UH 感器,PLC控制器組成.