哈默納科外延裝置諧波CSF-11-30-2A-R

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-11-30-2A-R
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式擺線式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速1450rpm額定功率15kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍111rpm許用扭矩52000N.m
使用范圍工業(yè)減速比887
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

外延系統(tǒng)裝置包括：氣體分配及控制系統(tǒng)、哈默納科外延裝置諧波CSF-11-30-2A-R加熱和測(cè)溫裝置、反應(yīng)室、廢氣處理裝置。

工藝過程包括：

（1） 襯底和基座處理：襯底處理主要是為了去除襯底圓片表面氧化哈默納科外延裝置諧波CSF-11-30-2A-R層及塵粒，沖洗干燥后放入石墨基座內(nèi)。對(duì)于已經(jīng)用過的石墨基座應(yīng)預(yù)先經(jīng)過HCl腐蝕，去除前次外延留在上面的硅。

（2） 摻雜劑配制：摻雜劑有氣態(tài)源，如磷烷PH3，烷B2H6等；液態(tài)源如POCl3、BBr3等，不同的器件對(duì)外延層電阻率及導(dǎo)電類型要求不同，必須根據(jù)電阻率精確控制摻雜源的用量。

外延生長(zhǎng)：主要程序?yàn)椋貉b爐——通氣，先通氮?dú)庠偻錃狻郎亍?strong>哈默納科外延裝置諧波CSF-11-30-2A-R—襯底熱處理或HCl拋光——外延生長(zhǎng)——?dú)錃鉀_洗——降溫——氮?dú)鉀_洗。當(dāng)基座溫度降到300℃以下時(shí)開爐取片

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