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螺桿真空泵的優(yōu)點
各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應用場合的影響,一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求,因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以廣泛應用。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設備,日本在螺桿壓縮機基礎上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線,并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線,并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產進入批量化生產,在化工制藥等行業(yè)得到很好的應用。
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