產(chǎn)品詳情
Turbo-V 1K-G 不僅是一臺(tái)泵。該裝置是專門為薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計(jì)的專用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化,可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中工作。另外,可通過遠(yuǎn)程機(jī)架控制器或泵機(jī)一體式控制器來驅(qū)動(dòng)泵。所有這些特點(diǎn)使安捷倫 Turbo-V 1K-G 成為了鍍膜工業(yè)的最佳真空解決方案。
特性
1、為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的分子泵解決方案
2、極快的抽速和高氣體通量
3、耐用型的設(shè)計(jì)和高效運(yùn)行的冷卻系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行
4、能夠保護(hù)軸承的氣體吹掃
5、機(jī)架式 Navigator 控制器的樣品架類型
6、通用電子器件接口和操作簡(jiǎn)單的控制軟件
7、模擬 I/O 信號(hào)和 RS232/RS485 接口(為標(biāo)準(zhǔn)Agilent Profibus 接口選項(xiàng))
渦輪分子泵應(yīng)用范例
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到最佳性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。