產(chǎn)品詳情
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氣體流量傳感器（Gas Flow Sensors）FS4001系列
產(chǎn)品簡介
FS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點(diǎn)
傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高
傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快
技術(shù)參數(shù)
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參數(shù) |
數(shù)值 |
單位 |
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流量范圍 |
30，100，200，500，1000 |
sccm |
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量程比 |
100:1 |
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精度 |
士(1.5+0.5FS） |
% |
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重復(fù)性 |
0.25 |
% |
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零點(diǎn)輸出漂移 |
±30 |
mV |
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輸出漂移 |
±0.12 |
%/°C |
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響應(yīng)時(shí)間 |
65（默認(rèn)，可設(shè)置4，8，16，33，131） |
ms |
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工作電源 |
8-24VDC,50mA |
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輸出方式 |
線性：RS232/PC/模擬電壓0.5~4.5VDC |
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最大流量壓損 |
350 |
Pa |
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最大工作壓力 |
≤0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10～+55 |
℃ |
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儲(chǔ)存溫度 |
-20～+65 |
℃ |
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工作濕度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機(jī)械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣（20℃，101.325kPa） |
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重量 |
15 |
G |
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最大允許流量 |
3000 |
sccm |
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最大允許流量變化 |
500 |
sccm/s |
以上參數(shù)在為20℃，101.325kPa下測得
產(chǎn)品選型
FS4001-( 1)-( 2 )-( 3 )
括號（1）選型：最大流量 （可選30，100，200，500，1000）
括號（2）選型：輸出方式（C-RS232;V-模擬電壓；E-PC；可選V，CV和EV）
括號（3）選型：氣體介質(zhì)（A-空氣；C-二氧化碳：E-復(fù)氣；H-復(fù)氣；N-氮?dú)?；O- 氧氣；R-氫氣；）
最大流量的單位為sccm，比如100代表最大流量為100sccm；
對二氧化碳，最大流量可選30，100，200，500和750，不可選1000
傳感器的標(biāo)準(zhǔn)輸出為模擬電壓，RS232和IC為選項(xiàng)。
