支持定制兆聲波晶圓清洗機(jī)硅片單片清洗機(jī)去膠剝離清洗清洗機(jī)

數(shù)量(臺) 價格
189 1280000.00元/臺
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第3年

深圳市精英超聲設(shè)備有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌elitesonic精英型號HC-1000A
類型兆聲波晶圓清洗機(jī)移動方式其他
水溫其他加工定制是
產(chǎn)地廣東深圳

產(chǎn)品詳情

一、主要用于單片式ITO導(dǎo)電玻璃、蓋板玻璃、硅片、光刻自動清洗、去膠剝離清洗

二、基本參數(shù)

     1.工件尺寸：40*40mm/50*50mm/200*200mm  4寸-12寸硅片 

     2.設(shè)備結(jié)構(gòu)形式：封閉式清洗

     3.清洗專用片盒放置位置數(shù)量：2個

     4.單個片盒存放基片數(shù)量：25片

     5.片盒檢測：傳感器

     6.機(jī)械手臂轉(zhuǎn)軸：4軸機(jī)器人

     7.機(jī)械手臂對位精度：±0.1mm

     8.漏掃及錯掃率：<1/10000

     9.清洗主軸轉(zhuǎn)速：額定3000RPM

     10.承片臺：夾持多點(diǎn)支撐、機(jī)械安全限位的方式

三、備件耗材

     1.清洗液過濾器：2套

     2.N2過濾器：2套

     3.去離子水過濾器：2套

     4.毛刷：2套

    有意向的親們歡迎聯(lián)系24小時服務(wù)熱線：13922803857謝小姐

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