產(chǎn)品詳情
廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導體相關部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機物去除、界面活性處理、表面污染物去除。
等離子清洗機特點：
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。
等離子清洗機技術參數(shù)：
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型號 |
V1000 |
V1000X |
V1000XS |
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等離子模式 |
DP/RIE |
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高頻電源 |
13.56MHz |
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輸出功率 |
Max1000W |
Max1000&1500W |
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有效電極尺寸 |
W280xD280mm |
W300xD300mm |
W400xD375mm |
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電極 |
平行平板 |
2段電極（獨立） |
平板（多目的） |
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反應氣體 |
聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） |
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真空泵（標配） |
約1000L/min |
約1500L/min |
1000&1500L/min |
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安全裝置 |
門檢測開關、連鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 |
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雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供，如您想了解更多關于等離子清洗機的信息，歡迎來電咨詢。
