哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L ?

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號LA-30B-10-F-L,
類型無級減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)雙級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比99
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

CMP的主要工藝參數(shù)有：拋光時間、磨頭向下壓力、轉(zhuǎn)盤速度、哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L 磨頭速度、磨料化學(xué)成分、磨料流速、拋光墊修整、硅片/磨料溫度、硅片背壓。

CMP工作過程的一個重要工藝步驟是終點(diǎn)檢測哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L ，通常使用兩種方法，一是電機(jī)電流終點(diǎn)檢測，在拋光時硅片上不同材料的摩擦特性不一致，那么磨頭電機(jī)感受到的阻力會有不同變化，電機(jī)電流也會相應(yīng)發(fā)生變化。通過檢測電機(jī)電流變化判斷拋光過程是否進(jìn)入不同材料層，從而判斷是否到達(dá)拋光終點(diǎn)。二是光學(xué)終點(diǎn)檢測，哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L 該技術(shù)是基于光的反射系數(shù)，在反射光譜學(xué)中，光從膜層上反射的不同角度與膜層材料和厚度有關(guān)。

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