產(chǎn)品詳情
關(guān)鍵詞：晶化退火爐 晶化退火設(shè)備 晶化快速退火爐
嘉儀通晶化快速退火爐RTP-3-01系列采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫，同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達到好的溫場均勻性，對薄膜材料進行晶化快速退火處理，提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
晶化快速退火爐產(chǎn)品特點：
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s，特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計能夠達到較大的降溫速率，特定條件下可達30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業(yè)級溫控器進行PID精確控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮氣、氬氣等）。同時，通過選配真空泵，可以在真空條件下進行退火，真空度可達10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時，可以結(jié)合相關(guān)測試方法進行原位測試分析。
安全系數(shù)高: 采用爐壁超溫報警系統(tǒng)和冷卻水流量報警系統(tǒng)，多方位保障儀器使用安全。
國產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。
晶化快速退火爐技術(shù)參數(shù)：
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型號 |
RTP-3-01系列 |
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溫度 |
1200℃ |
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升溫速率 |
50℃/s |
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溫度均勻性 |
≦1%設(shè)定溫度 |
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溫度控制 |
選用工業(yè)級溫控器，控溫精度±0.1℃ |
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溫度傳感器 |
標(biāo)準K型熱電偶 |
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降溫速率 |
1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷卻） |
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樣品尺寸 |
W20 x L20 x T2 (mm) |
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主機尺寸 |
W420X L320X H220 (mm) |
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主機重量 |
20.5kg |
晶化快速退火爐客戶案例：
清華使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火，得到晶相一致晶粒較小的晶體，提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
