1、移動(dòng)機(jī)器人(AGV)
移動(dòng)機(jī)器人(AGV)是工業(yè)機(jī)器人的一種類型,它由計(jì)算機(jī)控制,具有移動(dòng)、自動(dòng)導(dǎo)航、多傳感器控制、網(wǎng)絡(luò)交互等功能,它可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、紡織、卷煙、醫(yī)療、食品、造紙等行業(yè)的柔性搬運(yùn)、傳輸?shù)裙δ?,也用于自?dòng)化立體倉(cāng)庫(kù)、柔性加工系統(tǒng)、柔性裝配系統(tǒng)(以AGV作為活動(dòng)裝配平臺(tái));同時(shí)可在車站、機(jī)場(chǎng)、郵局的物品分撿中作為運(yùn)輸工具。
2、點(diǎn)焊機(jī)器人
隨著汽車工業(yè)的發(fā)展,焊接生產(chǎn)線要求焊鉗一體化,重量越來越大,165公斤點(diǎn)焊機(jī)器人是當(dāng)前汽車焊接中*常用的一種機(jī)器人,2008年9月,機(jī)器人研究所研制完成國(guó)內(nèi)首臺(tái)165公斤級(jí)點(diǎn)焊機(jī)器人,并成功應(yīng)用于奇瑞汽車焊接車間,2009年9月,經(jīng)過優(yōu)化和性能提升的第二臺(tái)機(jī)器人完成并順利通過驗(yàn)收,該機(jī)器人整體技術(shù)指標(biāo)已經(jīng)達(dá)到國(guó)外同類機(jī)器人水平。
3、弧焊機(jī)器人
弧焊機(jī)器人主要應(yīng)用于各類汽車零部件的焊接生產(chǎn),在該領(lǐng)域,國(guó)際大型工業(yè)機(jī)器人生產(chǎn)企業(yè)主要以向成套裝備供應(yīng)商提供單元產(chǎn)品為主。關(guān)鍵技術(shù)包括:
①弧焊機(jī)器人系統(tǒng)優(yōu)化集成技術(shù):弧焊機(jī)器人采用交流伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)以及高精度、高剛性的RV減速機(jī)和諧波減速器,具有良好的低速穩(wěn)定性和高速動(dòng)態(tài)響應(yīng),并可實(shí)現(xiàn)免維護(hù)功能;
②協(xié)調(diào)控制技術(shù):控制多機(jī)器人及變位機(jī)協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng),既能保持焊槍和工件的相對(duì)姿態(tài)以滿足焊接工藝的要求,又能避免焊槍和工件的碰撞;
③**焊縫軌跡跟蹤技術(shù):結(jié)合激光傳感器和視覺傳感器離線工作方式的優(yōu)點(diǎn),采用激光傳感器實(shí)現(xiàn)焊接過程中的焊縫跟蹤,提升焊接機(jī)器人對(duì)復(fù)雜工件進(jìn)行焊接的柔性和適應(yīng)性,結(jié)合視覺傳感器離線觀察獲得焊縫跟蹤的殘余偏差,基于偏差統(tǒng)計(jì)獲得補(bǔ)償數(shù)據(jù)并進(jìn)行機(jī)器人運(yùn)動(dòng)軌跡的修正,在各種工況下都能獲得*佳的焊接質(zhì)量。
4、激光加工機(jī)器人
激光加工機(jī)器人是將機(jī)器人技術(shù)應(yīng)用于激光加工中,通過高精度工業(yè)機(jī)器人實(shí)現(xiàn)更加柔性的激光加工作業(yè),本系統(tǒng)通過示教盒進(jìn)行在線操作,也可通過離線方式進(jìn)行編程,該系統(tǒng)通過對(duì)加工工件的自動(dòng)檢測(cè),產(chǎn)生加工件的模型,繼而生成加工曲線,也可以利用CAD數(shù)據(jù)直接加工,可用于工件的激光表面處理、打孔、焊接和模具修復(fù)等,關(guān)鍵技術(shù)包括:
①激光加工機(jī)器人結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù):采用大范圍框架式本體結(jié)構(gòu),在增大作業(yè)范圍的同時(shí),保證機(jī)器人精度;
②機(jī)器人系統(tǒng)的誤差補(bǔ)償技術(shù):針對(duì)一體化加工機(jī)器人工作空間大,精度高等要求,并結(jié)合其結(jié)構(gòu)特點(diǎn),采取非模型方法與基于模型方法相結(jié)合的混合機(jī)器人補(bǔ)償方法,完成了幾何參數(shù)誤差和非幾何參數(shù)誤差的補(bǔ)償;
③高精度機(jī)器人檢測(cè)技術(shù):將三坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)和機(jī)器人技術(shù)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了機(jī)器人高精度在線測(cè)量;
④激光加工機(jī)器人專用語(yǔ)言實(shí)現(xiàn)技術(shù):根據(jù)激光加工及機(jī)器人作業(yè)特點(diǎn),完成激光加工機(jī)器人專用語(yǔ)言;
⑤網(wǎng)絡(luò)通訊和離線編程技術(shù):具有串口、CAN等網(wǎng)絡(luò)通訊功能,實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)器人生產(chǎn)線的監(jiān)控和管理;并實(shí)現(xiàn)上位機(jī)對(duì)機(jī)器人的離線編程控制。
5、真空機(jī)器人 關(guān)鍵技術(shù)包括:
①真空機(jī)器人新構(gòu)型設(shè)計(jì)技術(shù):通過結(jié)構(gòu)分析和優(yōu)化設(shè)計(jì),避開國(guó)際專利,設(shè)計(jì)新構(gòu)型滿足真空機(jī)器人對(duì)剛度和伸縮比的要求;
②大間隙真空直驅(qū)電機(jī)技術(shù):涉及大間隙真空直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和高潔凈直驅(qū)電機(jī)開展電機(jī)理論分析、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制作工藝、電機(jī)材料表面處理、低速大轉(zhuǎn)矩控制、小型多軸驅(qū)動(dòng)器等方面;
③真空環(huán)境下的多軸精密軸系的設(shè)計(jì),采用軸在軸中的設(shè)計(jì)方法,減小軸之間的不同心以及慣量不對(duì)稱的問題;
④動(dòng)態(tài)軌跡修正技術(shù):通過傳感器信息和機(jī)器人運(yùn)動(dòng)信息的融合,檢測(cè)出晶圓與手指之間基準(zhǔn)位置之間的偏移,通過動(dòng)態(tài)修正運(yùn)動(dòng)軌跡,保證機(jī)器人準(zhǔn)確地將晶圓從真空腔室中的一個(gè)工位傳送到另一個(gè)工位;
⑤符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的真空機(jī)器人語(yǔ)言:根據(jù)真空機(jī)器人搬運(yùn)要求、機(jī)器人作業(yè)特點(diǎn)及SEMI標(biāo)準(zhǔn),完成真空機(jī)器人專用語(yǔ)言;
⑥可靠性系統(tǒng)工程技術(shù):在IC制造中,設(shè)備故障會(huì)帶來巨大的損失,根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)MCBF的高要求,對(duì)各個(gè)部件的可靠性進(jìn)行測(cè)試、評(píng)價(jià)和控制,提高機(jī)械手各個(gè)部件的可靠性,從而保證機(jī)械手滿足IC制造的高要求。
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