2024新上市SPS旋涂?jī)xPOLOS SPIN150x用于分配化學(xué)品

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第4年

北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司

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  • 所在地區(qū)：北京 順義區(qū)
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詳細(xì)參數(shù)
品牌SPSPOLOS型號(hào)SPIN150x
適用領(lǐng)域MEMS,半導(dǎo)體,生命科學(xué),光伏,微流控等領(lǐng)域加工定制是
產(chǎn)地德國(guó)

產(chǎn)品詳情


SPS旋涂?jī)xPOLOS SPIN150x 2024新上市



POLOS 旋涂機(jī)

我們的POLOS®單晶圓旋涂布機(jī)有NPP或PTFE兩種材質(zhì)。這些高質(zhì)量的旋涂機(jī)專為MEMS、半導(dǎo)體、

生命科學(xué)、光伏、微流控等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。適用于所有典型的旋轉(zhuǎn)工藝：

清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、玻璃滑動(dòng)和蝕刻。


POLOS® SPIN150x 是一種多功能、高質(zhì)量的基底旋涂機(jī)，由 NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。

臺(tái)式型號(hào)可手動(dòng)或自動(dòng)（可選）分配化學(xué)品。


腔體規(guī)格

外殼材質(zhì) 天然聚丙烯（NPP）

最大底物直徑 最大可用 6” (150 mm) 晶圓

最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物

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適用范圍

? 涂層

? 清洗沖洗/烘干

? 顯影

? 刻蝕

? PDMI

? 其他程序


硬件規(guī)格：

?液體過(guò)濾疏水閥

? 外殼和排水管設(shè)計(jì)，可切換桌面和Indeck模式用于注射器或噴嘴的中心注射支架

? 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

? 大尺寸觸摸顯示屏（可拆卸）

? USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新


驅(qū)動(dòng)裝置規(guī)格：

? 間接無(wú)刷驅(qū)動(dòng)裝置

? 轉(zhuǎn)速高達(dá) 12.000 RPM（取決于底物/卡盤(pán)）

? 高加速度、高精度

? 加速/減速 1-30.000 RPM

? 順時(shí)針、逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)和漩渦選項(xiàng)



SPS旋涂?jī)xPOLOS SPIN150x 2024新上市




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