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?Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝(CVD技術)制備,由活性小分子在基材表面"生長"出完全敷形的聚合物薄膜涂層,它能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊,號稱"無孔不入"可深入裂縫里和內表面。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的,厚度均勻、致密無細孔、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護性,甚至被業(yè)內稱為當今世界前列的防潮、防霉(零級)、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。聚對二甲苯(parylene)的制備過程是采用真空汽相成膜法。即將對二甲苯環(huán)狀二聚體經加熱汽化后再經高溫熱裂解成雙游離基氣體,此氣體在真空條件下導入成膜室直接冷凝聚合成膜。Parylene薄膜具有厚度均勻、致密無細孔、透明無應力、優(yōu)異的電絕緣性和防護性等特點,可應用在光電材料、磁性材料、服裝及文物保護等領域,因其生物兼容性和生物穩(wěn)定性,還可以應用在醫(yī)用領域。