原子力顯微鏡檢測(cè)技術(shù)服務(wù)

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合肥佰艾巨測(cè)科學(xué)技術(shù)有限公司

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測(cè)試項(xiàng)目:a.粉末,溶液,塊狀樣品的表面形貌,厚度,粗糙度測(cè)試b.生物/纖維樣品的表面形貌c.相圖d.PFM(壓電力顯微鏡), EFM(靜電力顯微鏡), KPFM(表面電勢(shì)), MFM(磁力顯微鏡), C-AFM/PeakForce TUNA(導(dǎo)電力顯微鏡),楊氏模量/模量分布,力曲線,液下,變溫等特殊模式。

1、表面形貌和表面粗糙度AFM可以對(duì)樣品表面形態(tài)、納米結(jié)構(gòu)、鏈構(gòu)象等方面進(jìn)行研究,獲得納米顆粒尺寸,孔徑,材料表面粗糙度,材料表面缺陷等信息,同時(shí)還能做表面結(jié)構(gòu)形貌跟蹤(隨時(shí)間,溫度等條件變化)。也可對(duì)樣品的形貌進(jìn)行豐富的三維模擬顯示,使圖像更適合于人的直觀視覺(jué)。

2、精準(zhǔn)定位如:納米片厚度/臺(tái)階高度:什么是精準(zhǔn)定位?就是需要花時(shí)間去一點(diǎn)點(diǎn)找這個(gè)地方。在半導(dǎo)體加工過(guò)程中通常需要測(cè)量高縱比結(jié)構(gòu),像溝槽和臺(tái)階,以確定刻蝕的深度和寬度。這些在SEM 下只有將樣品沿截面切開(kāi)才能測(cè)量,AFM 可以對(duì)其進(jìn)行無(wú)損的測(cè)量。AFM在垂直方向的分辨率約為0.1 nm,因此可以很好的用于表征納米片厚度。

3、相圖:作為輕敲模式的一項(xiàng)重要的擴(kuò)展技術(shù),相位模式是通過(guò)檢測(cè)驅(qū)動(dòng)微懸臂探針振動(dòng)的信號(hào)源的相位角與微懸臂探針實(shí)際振動(dòng)的相位角之差(即兩者的相移)的變化來(lái)成像。引起該相移的因素很多,如樣品的組分、硬度、粘彈性質(zhì),模量等。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),如果兩種材料從AFM形貌上來(lái)說(shuō),對(duì)比度比較小,但你又非常想說(shuō)明這是在什么膜上長(zhǎng)的另外一種,這個(gè)時(shí)候可以利用二維形貌圖+相圖來(lái)說(shuō)明(前提是兩種材料的物理特性較為不同,相圖有明顯對(duì)比信號(hào)才行)。


1.樣品狀態(tài):可為粉末、液體、塊體、薄膜樣品;

2. 粉末樣品:顆粒一般不超過(guò)5微米,提供20mg,液體不少于1ml,尺寸過(guò)大請(qǐng)?zhí)崆白稍児ぷ魅藛T;

3.粉末/液體樣品請(qǐng)務(wù)必備注好制樣條件,包括分散液,超聲時(shí)間及配制濃度;

4.薄膜或塊狀樣品尺寸要求:長(zhǎng)寬0.5-75px之間,厚度0.1-25px之間,表面粗糙度不超過(guò)5um,一定要標(biāo)明測(cè)試面!塊狀樣品需要固定好,避免在寄送過(guò)程產(chǎn)生晃動(dòng)或摩擦影響測(cè)試結(jié)果!

5.測(cè)試PFM、KPFM、C-AFMPeakForce TUNA的材料需要將樣品制備在導(dǎo)電基底上,基底大小大于0.5*12.5px,KPFMC-AFM、PeakForce TUNA的樣品需要導(dǎo)電或至少為半導(dǎo)體;

6. PFM,KPFM測(cè)試需要樣品表面十分平整,樣品厚度在10-200nm之間,粉末樣品測(cè)試很難測(cè)到較好結(jié)果,下單前請(qǐng)確保風(fēng)險(xiǎn)可接受;


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