產(chǎn)品詳情
非破壞性的測(cè)厚法,以橢偏儀(ellipsometer)或是毫微儀(nano-spec)最為普遍及準(zhǔn)確harmonic特殊氧化諧波CSF-17-80-2A-R ,前者能同時(shí)輸出折射率(refractiveindex;用以評(píng)估薄膜品質(zhì)之好壞)及起始厚harmonic特殊氧化諧波CSF-17-80-2A-R度b與跳階厚度a(總厚度t=ma+b),實(shí)際厚度(需確定m之整數(shù)值),仍需與制程經(jīng)驗(yàn)配合以判讀之。后者則還必須事先知道折射率來(lái)反推厚度值。
(9)不同厚度的氧化層會(huì)顯現(xiàn)不同的顏色,且有2000埃左右厚度即循harmonic特殊氧化諧波CSF-17-80-2A-R環(huán)一次的特性。有經(jīng)驗(yàn)者也可單憑顏色而判斷出大約的氧化層厚度。不過(guò)若超過(guò)1.5微米以上的厚度時(shí),氧化層顏色便漸不明顯。