日本HD半導(dǎo)體加工諧波CSG-20-80-2UH

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSG-20-80-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強沖擊載荷
傳動比級數(shù)三級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式分流式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比464
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

微機電制作技術(shù)，尤其是最大宗以硅半導(dǎo)體為日本HD半導(dǎo)體加工諧波CSG-20-80-2UH基礎(chǔ)的微細(xì)加工技術(shù)(silicon-basedmicromachining)，原本就肇源于半導(dǎo)體組件的制程技術(shù)，所以必須先介紹清楚這類制程，以免淪于夏蟲語冰的窘態(tài)。

一、 潔凈室

一般的機械加工是不需要潔凈室(cleanroom)的，因為加工分辨日本HD半導(dǎo)體加工諧波CSG-20-80-2UH率在數(shù)十微米以上，遠(yuǎn)比日常環(huán)境的微塵顆粒為大。但進入半導(dǎo)體組件或微細(xì)加工的世界，空間單位都是以微米計算，因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式，造成電性短路或斷路的嚴(yán)重后果。? 為此日本HD半導(dǎo)體加工諧波CSG-20-80-2UH，所有半導(dǎo)體制程設(shè)備，都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中，這就是潔凈室的來由

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