光學(xué)光譜共焦傳感器-測(cè)量厚度模式的詳細(xì)介紹

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東莞市藍(lán)海精密檢測(cè)設(shè)備科技有限公司

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  • 所在地區(qū):廣東 東莞市
  • 家家通積分:550分
詳細(xì)參數(shù)
品牌ERT型號(hào)ERT,2K-CL6
類(lèi)別光學(xué)測(cè)量傳感器制作工藝金屬鏡頭模組
輸出信號(hào)數(shù)字式材質(zhì)鋁制
材料物理性質(zhì)密封材料晶體結(jié)構(gòu)不可變性
精確度14nm靈敏度0.001
重復(fù)性0.001工作溫度-20-45,
額定電壓220V密封性完好
線(xiàn)性度0.003加工定制
是否進(jìn)口產(chǎn)地廣東
檢測(cè)距離12mm光柵高度4mm
光軸間距12mm峰值波長(zhǎng)25mm
工作電壓24v

產(chǎn)品詳情

ERT光譜共焦傳感器測(cè)量厚度

這個(gè)模式是用來(lái)測(cè)量單層透明樣品的厚度的,傳感器找出兩個(gè)譜峰,分別是透明樣品的兩個(gè)面反射光(后向散射)形成的。如果如預(yù)期的檢測(cè)到兩個(gè)譜峰,傳感器計(jì)算出第一個(gè)面的距離和光強(qiáng)(前表面,即,最近的面),第二個(gè)面的距離和光強(qiáng)(背面),還有厚度。所有這些數(shù)據(jù)同時(shí)可以用。

重要:為了能獲得一個(gè)有效的測(cè)量數(shù)據(jù),在厚度模式下,在傳感器中應(yīng)該設(shè)置正確的折射率。

距離和光強(qiáng)的含義和CCI/Distance模式一樣。

Distance2和Thickness數(shù)據(jù)都取決于折射率參數(shù)。為了保證這些數(shù)據(jù)的真是性,傳感器必須設(shè)置正確的折射率。特殊的,在CCI模式下,測(cè)得的厚度和折射率參數(shù)成正比。

備注:由于折射率的存在,實(shí)際測(cè)得的Thickness和Distance2可能比測(cè)量范圍大。

5.3.1  最小可測(cè)量的厚度

待測(cè)樣品的厚度必須大于或等于所用測(cè)頭的 最小可測(cè)量的厚度 ,如果樣品厚度小于這個(gè)界限,兩個(gè)譜峰很接近使傳感器無(wú)法分辨和解析它們,所

以傳感器只能將兩個(gè)譜峰當(dāng)做一個(gè)峰值。最小可測(cè)量厚度正比于測(cè)量材料的折射率,電子目錄中的值是對(duì)于折射率為1.5的樣品來(lái)測(cè)定的。當(dāng)測(cè)量一個(gè)氣隙(折射率為1.0)時(shí),測(cè)得的值應(yīng)該除以1.5.

5.3.2  最大可測(cè)量厚度

待測(cè)樣品的厚度必須小于或等于所用測(cè)頭的 最大可測(cè)量的厚度 。如果樣品厚度大于這個(gè)界限,兩個(gè)譜峰距離很遠(yuǎn)使得至少一個(gè)超出了測(cè)頭的量程。

最大可測(cè)量厚度正比于測(cè)量材料的折射率,電子目錄中的值是對(duì)于折射率為1.5的樣品來(lái)測(cè)定的,當(dāng)測(cè)量一個(gè)氣隙(折射率為1.0)時(shí),測(cè)得的值應(yīng)該除以1.5。










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