產(chǎn)品詳情
ERT光譜共焦傳感器測(cè)量厚度
這個(gè)模式是用來(lái)測(cè)量單層透明樣品的厚度的,傳感器找出兩個(gè)譜峰,分別是透明樣品的兩個(gè)面反射光(后向散射)形成的。如果如預(yù)期的檢測(cè)到兩個(gè)譜峰,傳感器計(jì)算出第一個(gè)面的距離和光強(qiáng)(前表面,即,最近的面),第二個(gè)面的距離和光強(qiáng)(背面),還有厚度。所有這些數(shù)據(jù)同時(shí)可以用。
重要:為了能獲得一個(gè)有效的測(cè)量數(shù)據(jù),在厚度模式下,在傳感器中應(yīng)該設(shè)置正確的折射率。
距離和光強(qiáng)的含義和CCI/Distance模式一樣。
Distance2和Thickness數(shù)據(jù)都取決于折射率參數(shù)。為了保證這些數(shù)據(jù)的真是性,傳感器必須設(shè)置正確的折射率。特殊的,在CCI模式下,測(cè)得的厚度和折射率參數(shù)成正比。
備注:由于折射率的存在,實(shí)際測(cè)得的Thickness和Distance2可能比測(cè)量范圍大。
5.3.1 最小可測(cè)量的厚度
待測(cè)樣品的厚度必須大于或等于所用測(cè)頭的 最小可測(cè)量的厚度 ,如果樣品厚度小于這個(gè)界限,兩個(gè)譜峰很接近使傳感器無(wú)法分辨和解析它們,所
以傳感器只能將兩個(gè)譜峰當(dāng)做一個(gè)峰值。最小可測(cè)量厚度正比于測(cè)量材料的折射率,電子目錄中的值是對(duì)于折射率為1.5的樣品來(lái)測(cè)定的。當(dāng)測(cè)量一個(gè)氣隙(折射率為1.0)時(shí),測(cè)得的值應(yīng)該除以1.5.
5.3.2 最大可測(cè)量厚度
待測(cè)樣品的厚度必須小于或等于所用測(cè)頭的 最大可測(cè)量的厚度 。如果樣品厚度大于這個(gè)界限,兩個(gè)譜峰距離很遠(yuǎn)使得至少一個(gè)超出了測(cè)頭的量程。
最大可測(cè)量厚度正比于測(cè)量材料的折射率,電子目錄中的值是對(duì)于折射率為1.5的樣品來(lái)測(cè)定的,當(dāng)測(cè)量一個(gè)氣隙(折射率為1.0)時(shí),測(cè)得的值應(yīng)該除以1.5。