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ERT光譜共焦傳感器參數(shù)選型表
(1)表中給出的數(shù)值是典型值，LHCLO，LHCL2，LHCL3，LHCL4有±3%的偏差；LHCL1，LHCL5，LHCL6有±6%的偏差；
(2)最大可測傾角是指針對鏡面反射表面時的極限角度值。漫反射表面的最大可測傾角可達87。：
(3)在量程中間位置時的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程遠端光斑更大，從中心分別到近端遠端差異10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的測頭測量同一樣品收集的能量，是相對單位量，此表中的數(shù)值為典型值。測量高度反射的樣品時，選擇低光度收集率的型號，為了避免飽和，測量擴散或低反射的樣品時，選擇具有高光度收集率型號，以避免一個非常低的信號與噪聲比例；
(5)軸向分辨率RMS是對靜止樣品測得的噪聲電平。在量程的中心，以最佳的速率進行測量，內部的平均分別設定為1-10。此參數(shù)為校準后立即測量，并對應交付每個傳感器的校準證書；
(6)精度是由1nm精度的編碼器做比較校準，由所述傳感器測量距離時，在整個測量范圍內的最大誤差。使用以下設置：自動適應LED模式，最優(yōu)的速度，傾角為0。，內部平均=測量值/10。此參數(shù)為校準后立即測量，并指定每個傳感器的校準證書交付；
(7)最小可測量的Ra的精度取決于樣品的恃性，表中所給的值是典型的；
(8)在最佳的速度下，測量范圍的中心，測量的典型值，不加平均。折射率=1.5個樣本（測量空氣間隙應除以1 5的厚度時）；
(9)可測半徑為測頭直徑加工作距離。
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。
