日本HD微影設(shè)備諧波CSG-50-120-2UH

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSG-50-120-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)單級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式同軸式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速1450rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩1782N.m
使用范圍機(jī)械設(shè)備減速比463
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

微影光蝕刻術(shù)起源于照相制版的技術(shù)。自1970年起，日本HD微影設(shè)備諧波CSG-50-120-2UH才大量使用于半導(dǎo)體制程之圖形轉(zhuǎn)寫復(fù)制。原理即利用對(duì)紫外線敏感之聚合物，或所謂光阻（photo-resist）之受曝照與否，來(lái)定義該光阻在顯影液（developer）中是否被蝕除，而最終留下與遮掩罩幕，即光罩（mask）相同或明暗互補(bǔ)之圖形日本HD微影設(shè)備諧波CSG-50-120-2UH；相同者稱之「正光阻」(positiveresist)，明暗互補(bǔ)者稱之「負(fù)光阻」(negativeresist)，。一般而言，正光阻，如AZ-1350、AZ-5214、FD-6400L等，其分辨率及邊緣垂直度均佳，但易變質(zhì)，儲(chǔ)存期限也較短(約半年到一年之間)，常用于學(xué)術(shù)或研發(fā)單位；日本HD微影設(shè)備諧波CSG-50-120-2UH而負(fù)光阻之邊緣垂直度較差，但可儲(chǔ)存較久，常為半導(dǎo)體業(yè)界所使用。

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