哈默納科機械磨頭諧波SHA32Y120CG-B12B2?

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號SHA32Y120CG-B12B2,
類型諧波減速器載荷狀態(tài)均勻載荷
傳動比級數(shù)單級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式分流式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式擺線式用途減速機
輸入轉(zhuǎn)速1450rpm額定功率15kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍111rpm許用扭矩1782N.m
使用范圍工業(yè)減速比88
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

CMP通常稱為化學(xué)機械拋光（chemical mechanical planarization，CMP）或拋光哈默納科機械磨頭諧波SHA32Y120CG-B12B2?；瘜W(xué)機械平坦化是實現(xiàn)多層金屬技術(shù)的主要平坦化技術(shù)，它通過硅片和一個拋光頭之間的相對運動來平坦化硅片表面，在硅片表面和拋光頭之間有磨料，并且施加一定壓力。CMP設(shè)備工作原理，為平坦化加工原理圖，哈默納科機械磨頭諧波SHA32Y120CG-B12B2）為帶有多個磨頭的CMP設(shè)備示意圖。在拋光時一個磨頭上裝有一個硅片，在傳送和拋光過程中，磨頭依靠真空來吸附硅片。拋哈默納科機械磨頭諧波SHA32Y120CG-B12B2光時磨料由磨料噴嘴噴涂到拋光墊上，磨頭和轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)運動實現(xiàn)了硅片的拋光。磨料與硅片的化學(xué)反應(yīng)促進(jìn)了拋光效果。

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