首頁 >產(chǎn)品 >機(jī)械 > 車間設(shè)備> 無塵車間>北京瑞邦精控科技有限公司

QFU-A系列雙軸氣浮運動臺

數(shù)量(臺)	價格
1	1.00元/臺

最小起訂： 1臺
發(fā)貨地址：北京順義區(qū)
發(fā)布日期：2024-05-20
訪問量：122

咨詢電話：181-4566-8702

打電話時請告知是在機(jī)電之家網(wǎng)上看到獲取更多優(yōu)惠。謝謝！

立即詢價立即拿樣

北京瑞邦精控科技有限公司

實名認(rèn)證企業(yè)認(rèn)證

聯(lián)系人：王欣悅
手機(jī)：18145668702
電話：-18145668702

營業(yè)執(zhí)照：已審核
經(jīng)營模式： -
所在地區(qū)：北京順義區(qū)
家家通積分：400分

進(jìn)入旺鋪手機(jī)旺鋪

掃一掃，添加微信好友

詳細(xì)參數(shù)
品牌	其他	型號	QFU-A
用途類型	工業(yè)潔凈室	氣流類型	其他
凈化級別	十萬	加工定制	否

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點

l ? 非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 光柵尺閉環(huán)反饋

l ? 亞微米級重復(fù)定位精度 ? 直線度平面度優(yōu)于1μm

? 優(yōu)化線纜管理 ? 可定制化設(shè)計

應(yīng)用領(lǐng)域

QFU-A系列是一款閉式氣浮導(dǎo)軌的雙軸氣浮運動臺，十字疊層結(jié)構(gòu)用于超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。

結(jié)構(gòu)特點

雙軸氣浮運動臺采用氧化鋁氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成，十字疊層結(jié)構(gòu)，底軸為三氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，上軸的運動行程尺寸在底軸寬度范圍內(nèi)，防止上軸出現(xiàn)懸空下塌，改善疊層后上軸的精度性能。氣浮運動臺為非接觸式，隨著時間地推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降。陶瓷材料彈性模量大、比剛度大，可有效提高系統(tǒng)剛性和帶寬，增加控制系統(tǒng)的相位裕度和幅值裕度。

精度性能

雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.2μm，重復(fù)定位精度±0.1μm，直線度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。

線纜管理

精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動臺的性能，使用高質(zhì)量的線纜，以確保無故障操作。

定制化

可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，重復(fù)定位精度±15nm。行程可接受定制。

規(guī)格指標(biāo)

型號		單位	QFU-A-200-200		QFU-A-300-300		QFU-A-400-400
軸系		—	X	Y	X	Y	X	Y
行程		mm	200	200	300	300	400	400
補(bǔ)償后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
補(bǔ)償后定位精度	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4
雙向重復(fù)定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1
雙向重復(fù)定位精度	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.3	±0.3
直線度 ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±1	±1
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.2	±0.2	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5
平面度 ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±1	±1
Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±0.8	±0.8
Yaw ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	arc sec	±1	±1	±1.5	±1.5	±2	±2
Pitch Roll ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.5	±1	±1	±1.5	±1.5	±2
Pitch Roll ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	arc sec	±1	±2	±2	±3	±3	±3.5
電子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（選配）
速度 (空載) ⁽⁴⁾		m/s	1
加速度 (空載) ⁽⁴⁾		m/s2	5,（10, 20 定制）
負(fù)載		kg	20
供氣壓力 ⁽⁵⁾		MPa	0.5±0.05

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。

5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌不受壓力影響，建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。