產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 直驅(qū)零齒槽效應(yīng)
? 定位精度±0.5arc sec ? 同步跳動(dòng)誤差10nm
? 精準(zhǔn)回零誤差 ? 高速度穩(wěn)定性
? 最大承載100kg ? 解決氣浮抱死問題
應(yīng)用領(lǐng)域
QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)輕量化設(shè)計(jì)、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)同步跳動(dòng)。產(chǎn)品設(shè)計(jì)滿足晶圓加工及檢測(cè)、輪廓測(cè)量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和MEMS/納米技術(shù)設(shè)備等高端行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
由無齒槽直驅(qū)力矩電機(jī)、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使工作臺(tái)面降低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問題，力矩電機(jī)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動(dòng)。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)同步軸向跳動(dòng)誤差和徑向跳動(dòng)誤差10nm，擺角誤差3μrad，負(fù)載100kg，電動(dòng)控制和手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)跳動(dòng)誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋
使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時(shí)采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)能精準(zhǔn)回零。
定制化
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。
規(guī)格指標(biāo)
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型號(hào) |
單位 |
QFR-100 |
QFR-200 |
QFR-300 |
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行程 |
° |
360 |
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臺(tái)面直徑 |
mm |
134 |
184 |
284 |
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通孔直徑 |
mm |
16 |
22 |
40 |
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補(bǔ)償后定位精度 |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
±2 |
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雙向重復(fù)定位精度 |
Plus (1) |
arc sec |
≤0.5 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
≤1 |
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軸向跳動(dòng)誤差 (2) |
Plus (1) |
nm |
10 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
200 |
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徑向跳動(dòng)誤差 (2) |
Plus (1) |
nm |
10 |
|||
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
200 |
|||||
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擺角誤差 |
Plus (1) |
μrad |
3 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
6 |
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電子分辨率 (3) |
arc sec |
＜0.01 |
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最大速度 (空載) (4) |
rpm |
300,（≥1000 定制） |
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負(fù)載 |
軸向 |
kg |
20 |
45 |
100 |
|
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徑向 |
12 |
27 |
60 |
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供氣壓力 (5) |
MPa |
0.5±0.05 |
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空氣消耗量 |
SL/min |
26 |
35 |
60 |
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自重 |
kg |
5 |
10 |
26 |
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材料 |
/ |
航空7075鋁合金（表面氧化處理） |
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注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面上25mm處，測(cè)試速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測(cè)量，精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如需非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 軸向和徑向跳動(dòng)為同步跳動(dòng)誤差，測(cè)微儀和標(biāo)準(zhǔn)球測(cè)量，計(jì)算為最大值-最小值-標(biāo)準(zhǔn)球誤差-同心度。
3. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 最大轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小，最大定制轉(zhuǎn)速7800 rpm。
5. 為保護(hù)氣浮軸承建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無油（ISO8573-1級(jí)別1）。
訂購信息
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型號(hào) |
QFR |
-100 |
-PLUS |
-1 |
-3 |
-Y |
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描述 |
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面直徑134mm |
PLUS高精度版 |
增量式光柵1Vpp反饋 |
線纜長(zhǎng)度3米 |
有壓力保護(hù)開關(guān) |
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名稱 |
型號(hào) |
描述 |
|
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
QFR |
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
|
臺(tái)面 |
-100 -200 -300 |
轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ134mm 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ184mm 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ284mm |
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精度等級(jí) |
-N -PLUS |
標(biāo)準(zhǔn)值 PLUS高精度版 |
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反饋方式 |
-1 -T -ABS |
增量式光柵1Vpp反饋 增量式光柵TTL反饋 絕對(duì)式光柵反饋 |
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線纜長(zhǎng)度 |
-3 -5 -DZ |
長(zhǎng)度3米（標(biāo)配） 長(zhǎng)度5米 定制 |
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壓力保護(hù)開關(guān) |
-Y -N |
有壓力保護(hù)開關(guān)（標(biāo)配） 無壓力保護(hù)開關(guān) |
