產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 大理石基座上行程300mm*275mm*360° (XYC)
l ? 旋轉(zhuǎn)軸行程100mm*360°（ZB軸）
l ? X軸直驅(qū)氣浮結(jié)構(gòu)，直線度平面度優(yōu)于1μm
l ? YZ軸交叉滾柱導(dǎo)軌，納米級(jí)定位紋波
l ? B軸跳動(dòng)誤差優(yōu)于150nm
l ? A軸用于角度調(diào)整0.5arc sec
l ? 優(yōu)化線纜管理
應(yīng)用領(lǐng)域
QFU-300-275-360R-100Z-360R五軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于飛秒激光加工。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
X軸采用閉式氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向，中間增加氣浮承載面，防止中間下塌。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)及光柵尺閉環(huán)反饋，大理石材質(zhì)作為機(jī)體，熱穩(wěn)定性好，用于掃描運(yùn)動(dòng)。
YZ軸采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋，獲得納米級(jí)定位抖動(dòng)。Y軸安裝到X軸上，Y軸長(zhǎng)度等于X軸寬度，保持移動(dòng)的穩(wěn)定性。Z軸安裝到大理石龍門橋架上。
B軸采用氣浮軸承、力矩電機(jī)及光柵尺閉環(huán)反饋，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預(yù)壓高剛度，側(cè)向放置承載能力大，解決氣浮軸抱死的問題。軸向跳動(dòng)誤差優(yōu)于100nm，徑向跳動(dòng)誤差優(yōu)于150nm。A軸直驅(qū)力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)，精密軸環(huán)導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋，用于角度調(diào)整，微動(dòng)步距0.5arc sec。
大理石機(jī)體因強(qiáng)度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上質(zhì)量可靠，品質(zhì)有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸，可依據(jù)客戶的要求做最終設(shè)計(jì)。
規(guī)格指標(biāo)
|
軸系 |
測(cè)試項(xiàng)目 |
單位 |
指標(biāo)要求 |
實(shí)測(cè)指標(biāo) |
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Y 底軸 |
行程 |
mm |
300 |
300 |
|
補(bǔ)償后定位精度 |
μm |
±0.2 |
±0.1 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 |
μm |
±0.25 |
±0.1 |
|
|
直線度 |
μm |
±0.4 |
±0.15 |
|
|
平面度 |
μm |
±0.4 |
±0.25 |
|
|
工作速度 |
mm/s |
200 |
200 |
|
|
X 上軸 |
行程 |
mm |
275 |
275 |
|
補(bǔ)償后定位精度 |
μm |
±0.3 |
±0.1 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
|
|
直線度 |
μm |
±2.5 |
±0.5 |
|
|
平面度 |
μm |
±2.5 |
±0.15 |
|
|
工作速度 |
mm/s |
100 |
100 |
|
|
B 軸 |
行程 |
° |
360 |
360 |
|
補(bǔ)償后定位精度 |
arc sec |
±2 |
±0.45 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 |
arc sec |
±1 |
±0.25 |
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|
軸向跳動(dòng)誤差 |
nm |
100 |
100 |
|
|
徑向跳動(dòng)誤差 |
nm |
150 |
120 |
|
|
工作速度 |
rpm |
1000 |
1000 |
|
|
Z 軸 |
行程 |
mm |
100 |
100 |
|
補(bǔ)償后定位精度 |
μm |
±0.2 |
±0.1 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 |
μm |
±0.1 |
±0.05 |
|
|
直線度 |
μm |
±1.5 |
＜±0.05 |
|
|
平面度 |
μm |
±1.5 |
±0.5 |
|
|
工作速度 |
mm/s |
100 |
100 |
|
|
軸系 |
測(cè)試項(xiàng)目 |
單位 |
指標(biāo)要求 |
實(shí)測(cè)指標(biāo) |
|
A 軸
|
行程 |
° |
360 |
360 |
|
補(bǔ)償后定位精度 |
arc sec |
±3 |
±1.05 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 |
arc sec |
±1.5 |
±0.55 |
|
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軸向跳動(dòng)誤差 |
μm |
5 |
4 |
|
|
徑向跳動(dòng)誤差 |
μm |
5 |
1 |
|
|
工作速度 |
°/s |
180 |
180 |
|
|
XYB |
負(fù)載 |
kg |
5 |
5 |
|
AZ |
負(fù)載 |
kg |
3 |
3 |
