日本HD晶圓芯片諧波CSF-17-80-2A-R

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-17-80-2A-R
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式同軸式加工定制否
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式擺線式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速1450rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比342
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

如HMDS，再降回室溫。換言之，日本HD晶圓芯片諧波CSF-17-80-2A-R 芯片表面在涂敷光阻前要確保是親水性（hydrophilic）。

(2)送晶圓上真空吸附的轉(zhuǎn)臺(tái)，注入（dispensing）光阻，日本HD晶圓芯片諧波CSF-17-80-2A-R開始由低轉(zhuǎn)速甩出多余的光阻并均布之，接著以轉(zhuǎn)速數(shù)千rpm，減薄光阻至所需厚度。

(3)將晶圓表層光阻稍事烤干定型，防止沾粘。但不可過干過硬，而妨礙后續(xù)的曝光顯影。一般光阻涂布機(jī)的涂布結(jié)果是厚度不均。尤其在晶圓邊緣部份，可能厚達(dá)其它較均勻部份的光阻3倍以上。另日本HD晶圓芯片諧波CSF-17-80-2A-R外，為了確保光阻全然涂布到整片晶圓，通常注入光阻的劑量，

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