哈默納科真空設(shè)備諧波齒輪CSF-50-160-2UH

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上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-50-160-2U
類(lèi)型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)無(wú)級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式擺線(xiàn)式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比877
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

刻蝕的主要工藝參數(shù)有:刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差、選擇比、哈默納科真空設(shè)備諧波齒輪CSF-50-160-2UH均勻性、殘留物、聚合物、等離子體誘導(dǎo)損傷、顆粒玷污和缺陷。

1.干法刻蝕

在半導(dǎo)體制造中,干法刻蝕是用來(lái)去除表面材料的最主要的刻蝕方哈默納科真空設(shè)備諧波齒輪CSF-50-160-2UH法。干法刻蝕是把硅片表面暴露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體,等離子體通過(guò)光刻膠中開(kāi)出的窗口與硅片發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng),從而去掉暴露的材料。

一個(gè)等離子體干法刻蝕系統(tǒng)由發(fā)生刻蝕反應(yīng)的反應(yīng)腔、一個(gè)產(chǎn)生等離子體的射頻電源、氣體流量控制系統(tǒng)、去除刻蝕生成物和氣體的真空系統(tǒng)等組成。刻蝕反應(yīng)系統(tǒng)包括傳感器、氣體流量控制單元和終點(diǎn)觸發(fā)探測(cè)器。哈默納科真空設(shè)備諧波齒輪CSF-50-160-2UH一般的干法刻蝕中的控制參數(shù)包括真空度、氣體混合組分、氣流流速、溫度、射頻功率和硅片相對(duì)于等離子體的位置

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