產(chǎn)品詳情
前段述及的光罩制作,是微影之關(guān)鍵技術(shù)。其制作方式經(jīng)幾十年之演進(jìn),日本HD縮影機(jī)傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R 已由分辨率差的縮影機(jī)(由數(shù)百倍大的紅膠紙【rubby-lith】圖樣縮影)技術(shù),改良為直接以計(jì)算日本HD縮影機(jī)傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R機(jī)輔助設(shè)計(jì)制造(CAD/CAM)軟件控制的雷射束(laser-beam)或電子束(E-beam)書寫機(jī),在具光阻之石英玻璃板上進(jìn)行書寫(曝光),分辨率(最小線寬)也改進(jìn)到微米的等級(jí)。?由于激光打印機(jī)的分辨率越來越好,未來某些線寬較粗的光罩可望直接以日本HD縮影機(jī)傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R打印機(jī)出圖。舉例而言,3386dpi的出圖機(jī),最小線寬約為七微米