哈默納科光刻工藝諧波SHG-25-120-2UJ?

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)SHG-25-120-2UJ,
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途起重機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速1440rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比2422
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

光刻的本質(zhì)是把臨時(shí)電路結(jié)構(gòu)復(fù)制到以后要進(jìn)行刻蝕和離子注入的硅片上。哈默納科光刻工藝諧波SHG-25-120-2UJ這些結(jié)構(gòu)首先以圖形形式制作在稱為掩模版的石英膜版上，然后用紫外光透過(guò)掩模版把圖形轉(zhuǎn)移到硅片表面的光敏薄膜上哈默納科光刻工藝諧波SHG-25-120-2UJ。芯片大批量生產(chǎn)工藝中的光刻以紫外光刻為主。掩模板制作也使用光刻工藝，但是，通常使用電子束、離子束進(jìn)行曝光。圖形轉(zhuǎn)移中的光刻曝光技術(shù)在本書第4章將做詳細(xì)介紹。

光刻顯影后圖形出現(xiàn)在硅片上，然后用一種化學(xué)刻蝕工藝把薄膜圖形成像在哈默納科光刻工藝諧波SHG-25-120-2UJ下面的硅片上，或者被送到離子注入工作區(qū)來(lái)完成硅片上圖形區(qū)中可選擇的摻雜

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