哈默納科精密扁平諧波CSF-25-160-2A-GR

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSF-25-160-2A-G
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)單級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩22N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比543
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

真空吸盤可繞Z軸旋轉(zhuǎn)，噴嘴可沿X、Y、Z移動，哈默納科精密扁平諧波CSF-25-160-2A-GR圍繞Z旋轉(zhuǎn)。噴嘴沿硅片徑向分滴光刻膠，這樣光刻膠就可以均勻噴涂在硅片表面上。光刻膠涂覆后，在硅片邊緣的正反兩面都會有光刻膠的堆積。哈默納科精密扁平諧波CSF-25-160-2A-GR邊緣的光刻膠一般涂布不均勻，不能中“背面EBR”裝置為邊緣光刻膠的去除裝置。

軟烘的目的是去掉光刻膠中的溶劑、哈默納科精密扁平諧波CSF-25-160-2A-GR增強光刻膠的粘附性、釋放旋轉(zhuǎn)涂膠產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力、改善線寬控制、防止光刻膠粘附到其他器件上。軟烘在真空熱板上進行

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