產(chǎn)品詳情
不過因為深度很淺,一般還是簡單認定大部份離子是攙雜在表面上日本HD驅(qū)動直聯(lián)諧波CSF-11-50-2XH-F,然后進一步利用驅(qū)入(drive-in)來調(diào)整濃度分布,并對離子撞擊過的區(qū)域,進行結(jié)構(gòu)之修補?;旧?,其為一低溫制程,故可直接用光阻來定義植入的區(qū)域。
(五)化學(xué)日本HD驅(qū)動直聯(lián)諧波CSF-11-50-2XH-F氣相沉積(ChemicalVaporDeb;CVD)
到目前為止,只談到以高溫爐管來進行二氧化硅層之成長。至于其它如多晶硅(poly-silicon)、氮化硅(silicon-nitride)、鎢或銅金屬等薄膜材料,要如何成長堆棧至硅晶圓上?
基本上仍是采用高溫爐管,只是因著不同的化學(xué)沉積過程日本HD驅(qū)動直聯(lián)諧波CSF-11-50-2XH-F,有著不同之工作溫度、壓力與反應(yīng)氣體,統(tǒng)稱為「化學(xué)氣相沉積」。